压电快反镜是以压电陶瓷作为驱动元件,内部采用无回差柔性铰链并联导向结构设计,外部机械结构通过内部多支压电陶瓷的伸缩来实现单轴或多轴角度偏转运动,补偿量小,确保偏转镜具有的运动精度和超高的稳定性,通过内置高精度传感器进行闭环控制,实现亚微弧度分辨率及微弧度定位精度。
压电快反镜采用经过特殊设计的精密音圈电机作为驱动,输出力大、响应快、控制精度高;采用反射镜及支撑结构一体化设计技术,降低了质量/惯量、减小了体积,具有优异的动态特性;采用了转轴构型优化技术,使快反镜具有良好的控制精度和闭环带宽。
高速精密压电偏转镜是为了满足在光学成像和检测系统中镜子超快超精密定位的需求设计的。高速精密压电偏转镜采用压电陶瓷为驱动,利用无摩擦的柔性铰链导向系统,使偏转镜拥有体积小、无摩擦,定位精度高等优点。
压电快反镜产品主要特点
亚微弧度的分辨率
超快响应时间
柔性铰链导向系统
高的可靠性
高的带宽
该偏转镜子只需要简单的固定到偏转台上,可提供2毫弧度的偏转行程。在整个偏转行程中可达到亚微弧度的分辨率。低的移动质量和优异的控制系统可以提供的响应时间和和速度。
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