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P35A.T35系列大行程压电偏转镜

更新时间: 2025-01-02

P35A.T35系列是一款兼具大行程、高精度、高频率特点的二维运动压电偏转镜。它可产生θx、θy二维偏转,偏转角度达±18.5mrad,空载谐振频率达2kHz,可配置闭环传感器,闭环重复定位精度可达0.025%F.S.。外观采用方形的设计,在物理上实现空间的最l大化利用便于集成,非常适合高精度大行程角度的快速偏转应用。产品外观如下图所示。

产品特点

二维θx、θy偏转

偏转角度达±18.5mrad

空载谐振频率2kHz

可定制

可选配闭环传感器

产品应用

P35A.T35系列压电偏转镜可广泛应用于图像处理/稳定、隔行扫描/抖动、光过滤/开关、激光扫描、光束偏转与稳定、扫描显微等光学应用。

技术参数 

型号

P35A.T35S/K

运动自由度

θx、θy

驱动控制

3路驱动,2路传感

标称偏转角度(0~120V)

±14.8mrad/轴

偏转角度(0~150V)

±18.5mrad/轴

传感器类型

SGS/-

闭/开环分辨率

1.2μrad/0.4μrad

线性度

0.13%F.S./-

重复定位精度

θx0.05%F.S.,

θy0.025%F.S./-

空载谐振频率

2000Hz

带载谐振频率

1800Hz(负载Φ12.7×3mm镜片)

1100Hz(负载Φ24.5×3mm镜片)

闭环阶跃时间

7ms@Φ12.7×3mm镜片 8ms@Φ24.5×3mm镜片

静电容量

7.2μF/轴

材质

钛合金、铝

重量

155g

配套控制器

E80.D3S-P多通道压电控制器非常适用于驱动P35A.T35系列压电偏转镜,采用模拟和数字控制,具有3个输出通道,其中1通道输出恒压,非常适于差分驱动。此外,该控制器配备有传感信号监测部分,可反馈体现压电偏转镜偏转角度的电压信号,实现对偏转镜的高精确度控制。控制器可满足电磁兼容试验(CS101、CS114、CS115、CS116、RE102、RS103)、力学冲击试验(重力加速度20g)、22.6kPa低气压试验(绝对值)等诸多严格的环境试验。

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